[发明专利]一种能实现在线自清洁的低温等离子体处理装置及其使用方法在审
| 申请号： | 202110101762.0 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN112807948A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 綦晓川;刘玉德;冯明山;綦晓舟;陶艳;柏雪婷 | 申请（专利权）人： | 上海聚萨光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/32 | 分类号： | B01D53/32;B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 何葆芳 |
| 地址： | 201600 上海市松江区泖*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种能实现在线自清洁的低温等离子体处理装置及其使用方法，所述的低温等离子体处理装置包括一可密闭箱体，在可密闭箱体的横向穿设有一转轴，在转轴上可转动连接有正极固定圆盘和负极固定圆盘，在正极固定圆盘与负极固定圆盘之间穿设有N层放电管，每层放电管均是由多个同类放电管以转轴为中心呈360度均布形成，且相邻两层放电管的电性相反；在位于正极固定圆盘外侧和负极固定圆盘外侧的转轴上分别套设有导电板固定座，每个导电板固定座分别与其相邻的可密闭箱体的内壁固定连接；在每个导电板固定座的内侧嵌设有圆弧形导电板，在正极固定圆盘和负极固定圆盘上均穿设有若干能与圆弧形导电板和放电管的导电端同时导电的导电触头。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 在线 清洁 低温 等离子体 处理 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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