[发明专利]一种多反射干涉自动测量系统在审
申请号: | 202110103270.5 | 申请日: | 2021-01-26 |
公开(公告)号: | CN112945385A | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 朱国瑞;倪晨;许涛;顾牡 | 申请(专利权)人: | 同济大学 |
主分类号: | G01J3/45 | 分类号: | G01J3/45;G01J3/02;G01N21/25;G01N21/27;G01N21/45;G01N21/01 |
代理公司: | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人: | 郁旦蓉 |
地址: | 200092 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种多反射干涉自动测量系统,属于光谱技术领域,具有这样的特征,包括:光源部,发射入射光;多反射干涉仪,接收入射光并输出出射光;光传感器,接收出射光并将光信号转化电信号;模数转化部,将电信号转化为数字信号;以及控制部,控制光源部、多反射干涉仪、光传感器以及模数转化部的运行,并将数字信号转化为干涉图进行输出,其中,多反射干涉仪包括:第一反射单元以及第二反射单元,第二反射单元包括第二长反射镜、第二短反射镜、第二终端反射镜以及移动组件,第二长反射镜设置在移动组件上。 | ||
搜索关键词: | 一种 反射 干涉 自动 测量 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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