[发明专利]一种基于电光调制边带的精密位移测量方法及装置有效

专利信息
申请号: 202110105425.9 申请日: 2021-01-26
公开(公告)号: CN112945108B 公开(公告)日: 2022-11-18
发明(设计)人: 王建波;殷聪 申请(专利权)人: 中国计量科学研究院
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02;G01B9/02001;G01B9/02055
代理公司: 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 代理人: 申星宇
地址: 100026 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明属于精密位移测量技术领域,提供了一种基于电光调制边带的精密位移测量方法及装置,所述方法通过调节电光调制器的边带频率与干涉仪共振,获得干涉仪第一腔长对应的第一自由光谱范围Δν1,以及第二腔长对应的第二自由光谱范围Δν2;根据第一自由光谱范围Δν1和第二自由光谱范围Δν2计算得到干涉仪的位移ΔL。本发明通过锁定电光调制器的边带频率与干涉仪的自由光谱范围共振,将干涉仪的位移测量转化为微波共振频率的测量,提高位移测量的准确度。
搜索关键词: 一种 基于 电光 调制 边带 精密 位移 测量方法 装置
【主权项】:
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