[发明专利]基于MOFs和有机半导体异质结的气体传感器件及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110106566.2 申请日: 2021-01-27
公开(公告)号: CN112928212B 公开(公告)日: 2022-07-22
发明(设计)人: 王帅;王良杰;陈欣 申请(专利权)人: 复旦大学;珠海复旦创新研究院
主分类号: H01L51/40 分类号: H01L51/40;H01L51/05;H01L51/30;G01N27/00;C08G83/00
代理公司: 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人: 陆飞;陆尤
地址: 200433 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明属于功能器件技术领域,具体为基于MOFs和有机半导体异质结的气体传感器件及其制备方法。本发明方法包括:采用带有SiO2层的硅片剪切成小面积于4 cm2的正方形或者圆形,而后使用匀胶机,将导电MOFs和有机半导体材料的混合溶液均匀地滴在硅片上,高转速下将多余的溶液甩飞;将以上器件退火处理,即得到导电MOFs和有机半导体聚合物的异质结的器件;将其应用于有害气体氛围中,定性检测有害气体。本发明用制备的基于导电MOFs材料和有机半导体材料的异质结结构搭建的器件,运用于有害气体检测,检测灵敏度高,拓宽了其应用领域。
搜索关键词: 基于 mofs 有机半导体 异质结 气体 传感 器件 及其 制备 方法
【主权项】:
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