[发明专利]一种可变光谱GaAlAs光电发射材料及其制备方法在审
申请号: | 202110110338.2 | 申请日: | 2021-01-27 |
公开(公告)号: | CN112687500A | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 徐源 | 申请(专利权)人: | 南阳理工学院 |
主分类号: | H01J1/34 | 分类号: | H01J1/34;H01J9/12 |
代理公司: | 郑州豫乾知识产权代理事务所(普通合伙) 41161 | 代理人: | 李保平 |
地址: | 473000 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明公开了一种可变光谱GaAlAs光电发射材料及其制备方法,它包括衬底,衬底的上表面生长有掺杂的AlN缓冲层,AlN缓冲层的上表面生长p型指数掺杂GaAlAs光电发射层,p型指数掺杂GaAlAs光电发射层的上表面吸附单层Cs或多层Cs/O,以形成Cs或Cs/O激活层。该结构采用梯度掺杂光电发射层,增大了发射层内光激发电子的逃逸深度,提高了发射层内电子发射到真空的几率,从而提高了GaAlAs可变光谱技术的总体量子效率,获得较高的紫外灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 一种 可变 光谱 gaalas 光电 发射 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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