[发明专利]一种疏水光刻胶薄膜的制备方法以及疏水光刻胶薄膜在审
| 申请号： | 202110113018.2 | 申请日： | 2021-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN112904675A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 陈鹏;顾大公;马潇;毛智彪;许从应 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 贾振勇 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明适用于光刻胶技术领域，提供了一种疏水光刻胶薄膜的制备方法，包括：将基层光刻胶树脂、疏水型光刻胶树脂分别溶于有机溶剂中，制备得到基层光刻胶树脂溶液以及疏水型光刻胶树脂溶液；将所述基层光刻胶树脂溶液滴加到硅片上，进行旋涂，将旋涂后的所述硅片进行烘烤，得到基层光刻胶树脂薄膜；将所述疏水型光刻胶树脂溶液滴加到所述基层光刻胶树脂薄膜上进行旋涂，将旋涂后的所述基层光刻胶树脂薄膜烘烤，得到疏水光刻胶薄膜。本发明还提供一种疏水光刻胶薄膜。本发明通过两次涂膜后，促使疏水性型光刻胶树脂的疏水基团在疏水光刻胶薄膜的表面富集，有更大的接触角，提升疏水基团的疏水利用率，达到提升疏水性的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 疏水 光刻 薄膜 制备 方法 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波南大光电材料有限公司，未经宁波南大光电材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110113018.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种外墙轻质化保温装饰一体板
- 下一篇：一种组合式体育运动教学仪
