[发明专利]一种多层透明导电薄膜及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 202110119993.4 | 申请日： | 2021-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN112941464B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 宋安刚;霍方方;朱地;胡俊华;赵保峰;关海滨;徐丹;王树元 | 申请（专利权）人： | 山东省科学院能源研究所 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/20;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张晓鹏 |
| 地址： | 250014 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层透明导电薄膜及其制备方法与应用，以氩气为等离子气源，以氧气为反应气体，在衬底上依次溅射第一二氧化钛膜、铜膜和第二二氧化钛膜，其中，二氧化钛膜采用远源等离子体溅射技术反应溅射沉积，铜膜采用直流溅射法溅射沉积。是采用远源等离子体溅射技术在衬底上直流溅射沉积薄膜，通过控制反应溅射过程中的氧气流量和溅射功率，在相对较低的溅射功率和氧流量条件下，通过控制中间层铜薄膜的厚度来调控透明导电膜的光电性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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