[发明专利]固态前驱体的封装容器及其在气相沉积过程中的应用

摘要

一种固态前驱体的封装容器及其在气相沉积过程中的应用。该封装容器包括：大瓶体、瓶盖和至少两个小瓶体，大瓶体和小瓶体均通过所述瓶盖封口，小瓶体位于大瓶体的腔体中；瓶盖上设置有进气管和出气管，进气管的管口与大瓶体的腔体连通；小瓶体的一侧面设置有导气孔，体积最小的小瓶体的腔体与出气管的管口连通，相邻的小瓶体之间的导气孔相互远离而布置。由于在小瓶体的一侧面设置导气孔，使得载气在封装容器内部经过的路程不受限于封装容器的深度，该封装容器可以有效的利用大瓶体和小瓶体腔体的横向尺寸，该载气与固态前驱体的接触距离和时间会明显增加，使得在气体出气管中前驱体的蒸气压稳定，可提供持续稳定的前驱体输出。