[发明专利]一种理疗仪生产用晶圆清洗机及其操作方法在审
| 申请号： | 202110122735.1 | 申请日： | 2020-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN112775100A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 闫玉飞 | 申请（专利权）人： | 闫玉飞 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B1/00;B08B1/04;B08B3/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市洪*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种理疗仪生产用晶圆清洗机及其操作方法，其结构包括脚轮、机箱、排水管、箱盖、清洗机构、控制面板，脚轮安装于机箱下端，排水管嵌入于机箱内侧，箱盖水平安装于机箱上端，清洗机构嵌入安装于机箱内侧，控制面板安装于机箱正面；清洗机构包括外箱体、超声波换能器、内护边结构、清洗腔、辅助清洗结构、转动轮，超声波换能器嵌入安装于外箱体内侧，内护边结构嵌入于外箱体内侧，清洗腔设于内护边结构内侧，辅助清洗结构下端嵌入安装于外箱体内侧，本发明在外箱体内侧设置了内护边结构，在对晶圆进行全方位清洗的同时，对与晶圆接触的部位进行了缓冲，防止了晶圆发生磕碰及出现划痕，更好的提高晶圆制作成集成电路的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 理疗仪 生产 用晶圆 清洗 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于闫玉飞，未经闫玉飞许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110122735.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
