[发明专利]一种单晶炉在审
| 申请号： | 202110124100.5 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN113005508A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 侯颖;李世杰;赵京通 | 申请（专利权）人： | 河北晶龙阳光设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 徐颖聪 |
| 地址： | 055550 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单晶炉，包括：副室主体，所述副室主体内形成有副腔室；上观察窗，所述上观察窗设置在所述副室主体上端前方，所述上观察窗包括上观察窗门，所述上观察窗门的一侧通过第一合页转动连接在所述副室主体上；气动单晶托，所述气动单晶托设置在所述副室主体下端侧面用于承托硅棒；定位导向机构，所述定位导向机构设置在所述副室主体下端前侧，用于在所述单晶炉与旋阀进行连接时顶端。根据本发明实施例的单晶炉，将上观察窗采用合页形式，维护方便，避免了零件掉落风险，单晶托采用气动控制，提高设备自动化程度，通过设置定位定向机构，确保导向的平稳准确性，提升了副室的安全性与自动化程度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 | ||
【主权项】：
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