[发明专利]一种环保低成本含钛金属蚀刻液组合物及其使用方法在审
| 申请号： | 202110124106.2 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN112921321A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 徐帅;张红伟;李闯;胡天齐;钱铁民 | 申请（专利权）人： | 四川和晟达电子科技有限公司;江苏和达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/44 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 汤俊明 |
| 地址： | 620010 四川省眉*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种环保低成本含钛金属蚀刻液组合物及其使用方法，蚀刻液包括主剂和辅剂，其中主剂组分按主剂的质量百分数计包括：过氧化氢1‑20％，强氧化性酸1‑10％，碱类化合物1‑10％，过氧化氢稳定剂0.01‑5％，氨基唑类化合物0.01‑2％，去离子水补充余量；辅剂组分按辅剂的质量百分数计包括：强氧化性酸1‑20％，碱类化合物1‑20％，氨基唑类化合物0.01‑2％，去离子水补充余量。本发明制作的蚀刻液组合物，无氟无磷，环境友好，废液处理成本较低，具有较高的铜离子负载能力，蚀刻得到的金属具有良好的蚀刻形貌，可满足超高精细、中小尺寸显示产品的生产要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环保 低成本 金属 蚀刻 组合 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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