[发明专利]测定装置及成膜装置在审
| 申请号： | 202110124529.4 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN113252304A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 村山彻也 | 申请（专利权）人： | 迪睿合株式会社 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01N21/47;G01N21/59;C23C14/24;C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘林华;陈浩然 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明的目的在于提供能够高精度地测定运送膜片的任意部位的光学特性的测定装置及成膜装置。该测定装置具备：测定部，对膜片照射光，将由前述膜片透射或反射的光聚光；以及移动机构，使前述测定部能够沿与前述膜片的运送方向交叉的第一方向移动，前述测定部具有对前述膜片照射光的光投射部、将来自前述膜片的光聚光的积分球、以及接受由前述积分球聚光的光的光接受部。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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