[发明专利]光掩膜盒及识别光掩膜盒的方法在审
| 申请号： | 202110125586.4 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN113671805A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 邱铭乾;庄家和;温星闵;李怡萱;薛新民 | 申请（专利权）人： | 家登精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 薛平;周晓飞 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭露一种光掩膜盒及识别光掩膜盒的方法，该光掩膜盒包含一基座及与该基座结合的一盒盖。该基座的一底面具有至少一第一标记及至少一第二标记，该第一标记具有相对于一光源的一第一反射率，该第二标记具有相对于该光源的一第二反射率，该第一反射率和该第二反射率不相同，且该第一反射率和该第二反射率不同于该底面其他区域的反射率。本发明可使得原本就提供有激光探测机制的工艺机台能够进一步识别光掩膜盒的相关信息，增进工艺的数据管理。 | ||
| 搜索关键词： | 光掩膜盒 识别 方法 | ||
【主权项】：
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