[发明专利]极紫外光产生方法和装置有效
| 申请号： | 202110129878.5 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN113009787B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 马修泉;王奕淳;马新敏;吴寒;刘怀亮;闻锦程;王力波 | 申请（专利权）人： | 广东省智能机器人研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 聂榕 |
| 地址： | 523808 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种极紫外光产生方法和装置，该方法包括：包括：控制目标液滴产生器产生目标液滴；根据目标液滴产生器的启动时间，确定预设触发时间；控制激光光源装置在预设触发时间，发射脉冲激光并将脉冲激光聚焦于真空环境中的预设打靶位置，击打目标液滴，使目标液滴受到与目标液滴的运动方向反向的激光作用力，产生极紫外光；控制液滴消散装置产生交变电场处理脉冲激光击打后的目标液滴的剩余废液，并获取液滴消散装置发送的反馈信息；根据反馈信息，调整激光光源装置的工作参数。上述极紫外光产生方法，具有打靶激光能量转换效率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光 产生 方法 装置 | ||
【主权项】：
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