[发明专利]一种平衡重力的半导体磨片机大盘沟槽清理装置在审
| 申请号： | 202110130608.6 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN112809553A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 戴超;张淳;李健乐;孙晨光;王彦君 | 申请（专利权）人： | 中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/00 | 分类号： | B24B41/00;B08B1/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 薛萌萌 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明创造提供了一种平衡重力的半导体磨片机大盘沟槽清理装置，包括大盘，以及用于对大盘进行清理的清洁设备，所述清洁设备包括安装架，安装在安装架上的清理组件，以及用于控制清理组件进行清理的曲线锯；所述清理组件包括刀具，所述刀具通过连接块滑动安装在安装架上，所述曲线锯驱动连接块带动刀具做往复运动对大盘进行清理。本发明创造所述的清洁设备能够清洁磨片机大盘沟槽上的残留物，采用半自动化清洁方法，人工省力的同时提高工作效率，高效避免刀片损坏大盘，适用于半导体磨片机大盘沟槽的清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平衡 重力 半导体 磨片机 大盘 沟槽 清理 装置 | ||
【主权项】：
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