[发明专利]一种半导体制备用粉尘洁净设备有效
| 申请号： | 202110130710.6 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN112934848B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 沈发明;蔡少伟 | 申请（专利权）人： | 芜湖米格半导体检测有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B3/02;B08B1/00;B08B7/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 241002 安徽省芜湖市弋江区芜湖*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体制备用粉尘洁净设备，其结构包括撑座、洁净仓、仓口、帘布、观察窗、支脚、台持机构、位移组件、第一六轴机械臂、第二六轴机械臂、第一喷嘴、第二喷嘴、液灌机构、气灌机构、气净机构、照明灯、排气口、栅格和净台机构，本发明具有以下有益效果，通过夹台机械臂对承载台进行夹持后，使台持机构对承载台进行固定，使传送组件带动承载台移动后，使承载台随之筒第二六轴机械臂带动第二喷嘴，使液灌机构和气灌机构对承载台表面进行气液处理后，使净台机构对承载台进行擦动清洁后，再通过气净机构进行后续的洁净处理，达到全面有效的对承载台进行洁净处理，提高洁净等级，增加半导体成品质量和成品率的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 制备 粉尘 洁净 设备 | ||
【主权项】：
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