[发明专利]一种等离子体发生器及其电极结构有效
| 申请号： | 202110132895.4 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN112888135B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 孙金海;郑岩;刘家国;孙新学 | 申请（专利权）人： | 北京环境特性研究所 |
| 主分类号： | H05H1/48 | 分类号： | H05H1/48 |
| 代理公司： | 北京格允知识产权代理有限公司 11609 | 代理人： | 李亚东 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及等离子体技术领域，尤其涉及一种等离子体发生器及其电极结构。该电极结构包括绝缘基座、电极块、针状电极和顶丝，该电极结构的电极块与绝缘基座相对固定，针状电极通过盲孔和顶丝的配合与电极块连接固定，将针状电极与电极块良好地导通，方便拆装和更换针状电极，电极块通过绝缘基座实现与等离子体发生器装配，做到电极与等离子体发生器间的电绝缘，另外针状电极采用钨材料制成耐高温寿命长。该等离子体发生器的电极结构安装和更换方便，整体体积相对较小，结构布局合理，太赫兹波可以在垂直于石英管轴线方向穿过管壁或沿石英管轴线方向穿过太赫兹波穿透部与腔室内的等离子体发生相互作用，适用于太赫兹波与等离子体相互作用的研究。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 发生器 及其 电极 结构 | ||
【主权项】：
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