[发明专利]一种磁场辅助阴极引弧装置及镀膜方法在审
| 申请号： | 202110134697.1 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN112831759A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 蹤雪梅;刘威;冯森 | 申请（专利权）人： | 江苏徐工工程机械研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 杨文文 |
| 地址： | 221004 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种磁场辅助阴极引弧装置及镀膜方法，装置包括引弧电极，包括有环形内侧面；引弧针，设置有若干个，若干引弧针均设置在所述引弧电极环形内侧面上；阴极靶，所述阴极靶包括圆台段，所述阴极靶设置在所述引弧电极内侧，且与所述引弧电极间隔设置，所述圆台段包括第一端面和第二端面，第一端面面积大于第二端面面积；所述引弧针端部与所述阴极靶接触；聚焦线圈，设置在所述引弧电极外围，所述聚焦线圈轴向与所述圆台段轴向平行或同轴；偏转线圈，用于调控电弧离子偏转路径；该装置或方法能够控制弧斑运动轨迹、减少大颗粒形成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁场 辅助 阴极 装置 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
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