[发明专利]对准系统的监控和数据的筛选方法

摘要

本发明公开了一种对准系统的监控和数据的筛选方法，通过对单片晶圆进行标记，并进行量测，得到第一量测数据；依据得到的第一量测数据进行平均值和标准差值的计算；利用第一量测数据利用得到的平均值和标准差值进行范围界定，并将超出平均值+多倍标准差值的数据进行筛除，利用剩余的数据进行网格拟合；依照上述单片晶圆的量测步骤及量测结果，量测每个Lot层面中的每片晶圆上的标记，得到第二量测数据；根据获得的每个Lot层面中的每片晶圆上的第二量测数据，对每一片晶圆的对准量测结果进行对应的操作分析处理，完成对准的拟合以及对套刻误差量测片数序号的预判。以此提升晶圆的对准效果，以及减小套刻误差量测对最终后续的对准结果的影响。