[发明专利]一种基于时序控制的二维光栅高效制造方法

摘要

一种基于时序控制的二维光栅高效制造方法，先清洗导轨上表面，然后涂布光刻胶；再打开线光源预热，将导轨放置在匀速移动平台上，把掩膜版和时序开关依次布置在导轨上方；导轨匀速运动，通过时序信号控制时序开关的通断，从而控制线光源是否对光刻胶进行曝光，实现用时序信号与导轨速度控制栅距；然后配置显影液，将曝光后的导轨放入显影液中显影；最后对显影后的导轨进行刻蚀，然后去除光刻胶，得到导轨共体二维光栅；本发明直接在导轨表面制造二维光栅，降低光栅与导轨粘贴的不稳定性以及装配误差；利用时序信号的精确时间插分实现光栅栅距的空间插分，有效提高光栅的制造精度，同时提高光栅的加工效率。