[发明专利]控制电路、控制方法和半导体加工设备有效
| 申请号： | 202110136178.9 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN112901468B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 刘畅;文莉辉;荣延栋 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F04B49/06 | 分类号： | F04B49/06 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种控制电路、控制方法和半导体加工设备，该控制电路中，第二开关模块用于在第一电路和端第二电路均接通时，接通被控部件的供电电源端与启动控制端之间的第三电路；在第一电路和第二电路均断开时，断开第三电路；状态保持模块用于在第一电路断开，第二电路接通时，保持第一电路处于接收端第三逻辑信号前一刻的状态。本发明提供的控制电路、控制方法和半导体加工设备，可以避免被控部件发生突然停止或者自发启动，从而可以避免被控部件因意外启停而损坏或产生安全隐患，进而可以提高被控部件的使用寿命和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 控制电路 控制 方法 半导体 加工 设备 | ||
【主权项】：
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