[发明专利]超灵敏柔性氧化镓光电探测器及阵列、制备方法和应用

摘要

本发明提出了一种超灵敏柔性氧化镓光电探测器及阵列、制备方法和应用，光电探测器，包括衬底，衬底的上端从下到上依次设置有金属铝薄膜、氧化铝薄膜、Ga2O3薄膜和石墨烯电极。本发明针对灵敏度低不能探测微弱的日盲光信号的问题，提出了一种利用空穴捕获降低肖特基势垒实现高响应度和快响应速度的基础上，利用多光束干涉将日盲光限制在超薄Ga2O3(λ/4n～30nm)中共振吸收，实现了兼具高灵敏度与快响应速度的Ga2O3日盲探测器，并将其用于微弱日盲信号的阵列成像和位置探测。