[发明专利]红外探测器像素结构和红外探测器有效
| 申请号： | 202110138411.7 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN113328000B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 翟光杰;潘辉;武佩 | 申请（专利权）人： | 北京北方高业科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;G01J5/24 |
| 代理公司： | 北京开阳星知识产权代理有限公司 11710 | 代理人： | 安伟 |
| 地址： | 100070 北京市丰台*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种红外探测器像素结构和红外探测器，红外探测器像素结构包括：衬底以及依次设置的第一结构层和第二结构层；第一结构层包括至少两个梁结构，梁结构连接中间支撑结构和微桥柱，由中间支撑结构向对应的微桥柱的梁路径中，交汇于同一节点的两条并行梁结构分别为第一半桥结构和第二半桥结构，第一半桥结构和第二半桥结构形成热对称结构；第一半桥结构的长度大于第二半桥结构的长度，沿垂直于衬底的方向，第一半桥结构的厚度大于第二半桥结构的厚度，微桥柱为实心柱结构；第一结构层包括第一电极层，第二结构层包括第二电极层和热敏层，第二电极层通过第一电极层电连接至微桥柱。该红外探测器像素结构能够提高红外探测器的探测性能。 | ||
| 搜索关键词： | 红外探测器 像素 结构 | ||
【主权项】：
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