[发明专利]一种废旧WRe/TZM复合旋转阳极靶盘的修复方法在审

专利信息
申请号: 202110140690.0 申请日: 2021-02-02
公开(公告)号: CN112958772A 公开(公告)日: 2021-06-15
发明(设计)人: 张久兴;农滨荣;朱俊康;胡子;韩翠柳;潘亚飞;杨新宇;全昕龙 申请(专利权)人: 合肥工业大学;合肥晶思立新材料科技有限公司
主分类号: B22F7/08 分类号: B22F7/08;B22F3/02;B22F3/14
代理公司: 北京山允知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11741 代理人: 胡冰
地址: 230009 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提供一种废旧WRe/TZM复合旋转阳极靶盘的修复方法,其包括步骤:S1)检查废旧WRe/TZM复合旋转阳极靶盘的表面缺陷;S2)对废旧靶盘表面缺陷进行切削加工;S3)对废旧靶盘的表面进行处理,并计算所需WRe合金粉末的质量;S4)将表面处理后的废旧靶盘放入石墨模具中,靶面朝上,加入WRe合金粉末;采用SPS轴向压力装置对装有废旧靶盘和WRe合金粉末的石墨模具进行预压;S5)在预压后的石墨模具外围包裹与石墨模具等高的4~6mm厚的碳毡,再将其置于SPS炉腔中,抽真空至5Pa以下,进行放电等离子烧结连接。得到的WRe/TZM复合旋转阳极靶盘表面无缺陷,组织细小均匀、相对密度高,修复完成的WRe/TZM复合旋转阳极靶盘的WRe合金相对密度为97.0%~98.0%,维氏硬度为430~455HV0.5
搜索关键词: 一种 废旧 wre tzm 复合 旋转 阳极 修复 方法
【主权项】:
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