[发明专利]一种氮化铝钪靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202110142179.4 | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN112723893B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 邱从章 | 申请（专利权）人： | 邱从章 |
| 主分类号： | C04B35/581 | 分类号： | C04B35/581;C04B35/622;C23C14/06 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人： | 赵进;颜勇 |
| 地址： | 410083 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种氮化铝钪靶材及其制备方法，包括氮化铝、氮化钪、氮化铝钪和单质钪中至少两种组元，其中钪的原子百分比为5～40％，铝的原子百分比为20～50％，余量为氮；所述氮化铝钪靶材的平面尺寸不低于1×10 |
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| 搜索关键词： | 一种 氮化 铝钪靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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