[发明专利]氟气中氟化氢的分析装置及分析方法有效

专利信息
申请号: 202110142239.2 申请日: 2021-02-02
公开(公告)号: CN112946125B 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 杨建中;华小林;申黎明;李嘉磊;陈施华;于睿洁 申请(专利权)人: 福建德尔科技有限公司
主分类号: G01N30/02 分类号: G01N30/02;G01N30/20;G01N30/46;G01N30/86
代理公司: 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 代理人: 徐东峰
地址: 364000 福建省龙岩*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明提供了一种氟气中氟化氢的分析装置及分析方法,所述分析方法包括以下步骤:将十二通阀切换到a、b断开,a、f导通的状态,并通入待测气体到定量杯定量;将十二通阀切换到a、b导通,a、f断开的状态,并通过载气罐推动定量后的样品经过f、e阀门进入氟醚油柱进行氟化氢的分离;在出峰前打开第一GC‑GC二维色谱,通过自动校正好的灵敏度衰减,测定氟化氢的峰面积S1以及其他剩余组分的总峰面积S2;通过氯化钾柱将氟气转化为氯气,并通过氧化铝柱和X担体柱去除其他酸性气体并二次分离;在出峰前打开第二GC‑GC二维色谱,通过自动校正好的灵敏度衰减,氯气的的峰面积S3以及其他剩余气体的峰面积;根据上述数据获取氟化氢以及氟气的含量。
搜索关键词: 氟气 氟化氢 分析 装置 方法
【主权项】:
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