[发明专利]一种量子电容测量系统及其测量方法

摘要

本发明公开了一种量子电容测量系统及其测量方法。本发明将测量电桥集成在样品台上，尽可能减小寄生电容的影响；在保持电桥的激励信号很小的同时提高测量频率以获得足够的测量精度，降低测量发热和避免影响样品的量子状态；本发明使用了超外差结构和锁相测量方法相结合，利用本地振荡信号混频将电桥输出的高频信号转换为低频信号，再利用低频锁相测量技术测得低频信号的幅度和相位，从而实现对高频小信号幅度和相位的探测；本发明采用能在极低温环境中正常工作的电阻电容桥，并通过超外差降频电路对电阻电容桥产生的高频信号进行放大和降频处理，最终实现对量子电容的精确测量。