[发明专利]陶瓷加热器在审
申请号: | 202110146229.6 | 申请日: | 2021-02-02 |
公开(公告)号: | CN113207201A | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 松下谅平 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
主分类号: | H05B3/02 | 分类号: | H05B3/02;H05B3/26;H01L21/67 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 陈彦;郭玫 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种陶瓷加热器。陶瓷加热器(10)具备:在表面具有晶片载置面(20a)的陶瓷板(20);埋设在陶瓷板(20)中的电阻发热体(22)、(24);从陶瓷板(20)的背面(20b)支撑陶瓷板(20)的筒状轴(40);以及从陶瓷板(20)的背面(20b)中被筒状轴(40)包围的轴内区域(20d)的起点(26s)到达陶瓷板(20)的外周部的末端位置(26e)的热电偶通路(26)。热电偶通路(26)具有:设置在从起点(26s)到末端位置(26e)之间的中间位置(26m)的台阶部(26b);从起点(26s)到达末端位置(26e)的长距离部;以及从起点(26s)到达中间位置(26m)的短距离部。 | ||
搜索关键词: | 陶瓷 加热器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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