[发明专利]连续离子液相制备纳米薄膜的自动沉积方法及自动化设备在审
| 申请号： | 202110146931.2 | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN112794281A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;李光旻;王文安 | 申请（专利权）人： | 中企众鑫（天津）工业设计有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市西*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了连续离子液相制备纳米薄膜的自动化设备，包括密封舱，密封舱内依次设有第一烧杯、第二烧杯、第三烧杯和第四烧杯，密封舱内设有运行控制系统、环境控制系统和视频监控系统。密封舱外设有中央控制系统和数据采集系统，运行控制系统、环境控制系统、视频监控系统和数据采集系统均与中央控制系统相连接。同时，本发明还公开了连续离子液相制备纳米薄膜的自动沉积方法。本发明通过中央控制系统设置导电玻璃衬底在各个溶液中的沉积时间和沉积循环周期，可以调节纳米薄膜的成分和厚度，有效提高制备纳米薄膜的实验效率，同时可以提高纳米薄膜沉积的精准度，具有极大的实用经济价值。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 离子 制备 纳米 薄膜 自动 沉积 方法 自动化 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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