[发明专利]一种晶圆光刻机在审
| 申请号： | 202110147231.5 | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN112859544A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 刘雪霞 | 申请（专利权）人： | 广州玩聚玩具有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510665 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆光刻机，其结构包括机体、调节装置、显示屏、通风机、指示灯、工作腔、散热口，本发明在进行使用时，通过平滑片与羊角斜块配合将晶圆芯片卡持在两块卡持凹盘之间，保证晶圆芯片可以稳定定位在两块卡持凹盘之间，使得晶圆芯片与载台之间存在间隙，便于工作人员对加工后的晶圆芯片进行拿取，通过转轮带动卡接头对晶圆芯片进行顺时针翻转度，翻转后通过接触弧片会直接与摩擦板相接触产生较大的摩擦阻力，保证翻转后晶圆芯片的平稳性，使得工作腔内部的光刻元件可以精准对晶圆芯片的另一面进行光刻加工处理，提高晶圆芯片的光刻效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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