[发明专利]一种太赫兹波导及其制备方法有效
| 申请号： | 202110147970.4 | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN112751152B | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 石艺尉;何猛辉;曾嘉富;陈张雄;赵泽巧;朱晓松 | 申请（专利权）人： | 复旦大学;中山复旦联合创新中心 |
| 主分类号： | H01P11/00 | 分类号： | H01P11/00;H01P3/12;H01P3/16 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘凤玲 |
| 地址： | 528437 广东省中山市火*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种太赫兹波导及其制备方法，制备方法包括：采用毛细管拉丝的方法将预制管拉制成毛细管；在所述毛细管外镀制金属膜；在所述金属膜外镀制保护层；采用腐蚀法对所述毛细管进行腐蚀。本发明不同于传统的在金属膜内镀制介质膜，而是先拉制作为介质膜的毛细管再镀制金属膜，最后用腐蚀法腐蚀毛细管，可以使毛细管厚度达到最优要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 赫兹 波导 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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