[发明专利]保护膜形成用复合片及带有保护膜的芯片的制造方法在审
申请号: | 202110148435.0 | 申请日: | 2021-02-03 |
公开(公告)号: | CN113214745A | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 山本大辅;米山裕之;古野健太 | 申请(专利权)人: | 琳得科株式会社 |
主分类号: | C09J7/24 | 分类号: | C09J7/24;C09J7/30;C09J133/08;H01L21/683 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;谢顺星 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供一种保护膜形成用复合片,其具备支撑片(10)和形成在所述支撑片的一个面上的保护膜形成用膜(13),所述支撑片的所述保护膜形成用膜(13)侧的面(10a)(12a)在23℃下的探针初粘力值为500mN以上,所述支撑片的所述保护膜形成用膜(13)侧的面(10a)(12a)在0℃下的环形初粘力值为500mN以上。 | ||
搜索关键词: | 保护膜 形成 复合 带有 芯片 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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