[发明专利]耐高温Ⅱ型光波导加工方法、系统及耐高温Ⅱ型双线波导有效
| 申请号： | 202110148738.2 | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN112894128B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 闫霖玉;龚旗煌;李焱;李萌 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;B23K26/06;B23K26/082;B23K26/50;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苟冬梅 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种耐高温Ⅱ型光波导加工方法、系统及耐高温Ⅱ型双线波导，涉及波导制备技术领域。能够解决如何快速地获得耐高温的Ⅱ型双线波导的问题。所述方法包括：得到高斯光束；利用空间光调制器对高斯光束进行焦场整形，得到沿激光传播方向上呈双焦点光强分布的三维光焦场；利用经过焦场整形后的激光束对待加工样品进行多次原位扫描，得到耐高温低损耗的Ⅱ型双线波导。 | ||
| 搜索关键词： | 耐高温 波导 加工 方法 系统 双线 | ||
【主权项】：
暂无信息
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