[发明专利]基于重力梯度测量的面内式MEMS隧穿姿态敏感器有效
| 申请号： | 202110149563.7 | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN112964249B | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 赵嘉昊;曹亚陆 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01C21/16 | 分类号： | G01C21/16;G01C21/24 |
| 代理公司： | 北京国林贸知识产权代理有限公司 11001 | 代理人： | 李富华 |
| 地址： | 100084 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了属于角度测量的惯性传感器技术领域的一种基于重力梯度测量的面内式MEMS隧穿姿态敏感器。该面内式MEMS隧穿姿态敏感器由敏感模块、斧形针尖、可动电极模块组成；其中，敏感模块由柔性梁和质量块组成；可动电极模块由连接针尖结构，驱动疏齿，反馈疏齿，四支撑梁组成；并整体置于隔离罩内；然后隔离罩固定在地面单轴转台上，地面单轴转台绕转动轴转动，形成隧穿姿态敏感器测量系统。本发明具有高精度微小位移检测功能，能在保持现有MEMS星载姿态敏感器测角精度的同时实现一体化加工，大大减小传感器的尺寸及组装难度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 重力梯度 测量 面内式 mems 姿态 敏感 | ||
【主权项】：
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