[发明专利]一种无基底超薄功能薄膜材料及制备方法有效
| 申请号： | 202110150339.X | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN112960657B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 张国栋;程光华;王江;李广英 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | C01B21/064 | 分类号： | C01B21/064;C01B32/186 |
| 代理公司： | 西安毅联专利代理有限公司 61225 | 代理人： | 师玮 |
| 地址： | 710000 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于功能薄膜器件技术领域，公开了一种无基底超薄功能薄膜材料及制备方法，通过化学或物理刻蚀的方式将蒸镀、溅射、沉积在基底材料上的薄膜分离出来，然后在液体环境中将薄膜材料转载到带有中间孔的基片上，进而在基片的中孔区域形成无基底的功能薄膜材料。本发明在制备薄膜材料时具有可重复性，通过重复转载工艺可以实现多层无基底超薄功能薄膜的制备，并且可以调控薄膜之间的旋转角度。解决了功能薄膜材料离开基底难以稳定存在的难题，可广泛应用于分子筛选、离子过滤、强场物理中的固体密度等离子体靶的制备当中；广泛适用于沉积在各种基底上的各种薄膜材料，只需要根据基底材料的不同改变刻蚀液的配比。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基底 超薄 功能 薄膜 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
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