[发明专利]一种碳基填充材料的制备方法在审
申请号: | 202110151377.7 | 申请日: | 2021-02-01 |
公开(公告)号: | CN112969307A | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 胡昆兵 | 申请(专利权)人: | 深圳瑞君新材料技术有限公司 |
主分类号: | H05K3/32 | 分类号: | H05K3/32;C08F265/00;C08F220/06;C08F222/40;C01B32/21 |
代理公司: | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人: | 另婧 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区粤海街道大冲社*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种碳基填充材料的制备方法,将碳与二氧化硅经交联后进行煅烧处理,采用腐蚀溶液去除二氧化硅,得到载体;将载体进行刻蚀,刻蚀出贯通的刻蚀孔,在载体上采用传统方法沉积形成硅晶体层,作为基体;制备填充固化性组合物,将丙烯酸聚合物、丙烯酸单体和马来酰亚胺进行混合;将固化性组合物填充于刻蚀孔内烘干干燥,使固化性组合物固化,放置焊料,再次填充固化性组合物,烘干干燥,得到填充材料层,本发明提供的碳基填充材料的制备方法,能够防止电极漏出发生漏电的现象,增加电路板与芯片的结合强度,防止芯片脱落,具有较好的物理性能和强度,通过制备多孔的碳材料,使其具有较长的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 填充 材料 制备 方法 | ||
【主权项】:
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