[发明专利]一种高温自转变非晶/纳米晶高熵氧化物薄膜、制备方法及应用有效
| 申请号： | 202110151997.0 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN112831751B | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 曹国钦;裴书博;胡俊华;邵国胜;田佳佳;姚航航 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/34;C23C14/58 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人： | 王红培 |
| 地址： | 450001 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种高温自转变非晶/纳米晶高熵氧化物薄膜、制备方法及应用，步骤如下：（1）将锆基多元素靶材切割组合成溅射靶材A，将Al基多元素靶材切割组成溅射靶材B，将溅射靶材A与直流电源相连，溅射靶材B与射频电源相连，预溅射后采用共溅射的方法沉积高熵金属玻璃薄膜；（2）将得到的高熵金属玻璃薄膜置于马弗炉中，煅烧得到非晶/纳米晶高熵氧化物薄膜。本发明制备的高熵薄膜在高温下逐渐实现原位转变，形成均匀致密的高熵氧化物，避免了裂纹的产生和涂层失效。高的混合熵增强了元素间的互溶性，抑制了单独化合物的形成。同时由于高的界面能和结晶过程中原子扩散的动力学障碍（缓慢动力学），非晶/纳米晶体系会稳定存在。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 转变 纳米 晶高熵 氧化物 薄膜 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于郑州大学，未经郑州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110151997.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
