[发明专利]一种薄膜材料热膨胀系数及应力测量方法有效
申请号: | 202110152012.6 | 申请日: | 2021-02-03 |
公开(公告)号: | CN113030158B | 公开(公告)日: | 2022-12-23 |
发明(设计)人: | 朱建国;杨栋 | 申请(专利权)人: | 江苏大学 |
主分类号: | G01N25/16 | 分类号: | G01N25/16;G01L5/00 |
代理公司: | 苏州和氏璧知识产权代理事务所(普通合伙) 32390 | 代理人: | 李晓星 |
地址: | 212013 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种薄膜材料热膨胀系数及应力测量方法,步骤1、试样及实验平台准备;步骤2、薄膜试样形貌及全场变形实时测量;步骤3、薄膜材料热膨胀系数的计算;步骤4、薄膜高温全场热应力的计算;步骤5、薄膜制备产生的全场残余应力计算。本发明利用薄膜和基底材料之间热膨胀系数不匹配,当工作温度变化时薄膜基底结构发生平面内尺寸伸缩及空间弯曲变形的特点,通过三维数字图像相关方法测量薄膜基底结构试样的形貌及在高温环境下的面内位移和离面位移,将实验测得的变形带入自行推导的热膨胀系数公式和扩展Stoney公式,可以解决难以剥离薄膜材料的热膨胀系数实时测量、薄膜全场热应力的实时测量以及薄膜制备引起的全场残余应力测量问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜 材料 热膨胀 系数 应力 测量方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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