[发明专利]一种脆性靶材的焊接方法有效
| 申请号： | 202110152753.4 | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN112935443B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;杨慧珍 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K1/00 | 分类号： | B23K1/00;B23K1/08;B23K1/06;B23K35/26;B23K3/08;B23K37/04 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种脆性靶材的焊接方法，先将脆性靶坯的焊接面与辅助压块的第一平面相接触并进行绑定，所述第一平面与所述溅射面的形状尺寸相同，再将绑定脆性靶坯、背板以及焊料进行加热，利用熔化后的焊料对焊接面进行浸润处理，随后将浸润处理后的绑定脆性靶坯扣合在浸润处理后的背板上，实现焊接面之间的接触，在所述辅助压块的第二表面上放置压块并冷却，将所述辅助压块取下，得到脆性靶材。本发明所述脆性靶材的焊接方法通过将脆性靶坯与辅助压块进行绑定，不仅有效解决了扣合后焊料残存空气而被氧化的问题，使得焊接结合率≥97％，平面度＜1mm，还有效防止了靶坯开裂，满足磁控溅射的使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脆性 焊接 方法 | ||
【主权项】：
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