[发明专利]一种柔性薄膜式压电声发射传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 202110152803.9 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN112968123B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 杨成韬;孙星林;茹子雄;肖盼 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L41/053 | 分类号： | H01L41/053;H01L41/113;H01L41/31;G01D5/48 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 霍淑利 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种柔性薄膜式压电声发射传感器，属于电力工程技术领域。本发明的柔性薄膜式压电声发射传感器，除压电薄膜晶片外，所有组成部分均具有柔性；而压电薄膜晶片虽然不具有柔性，但其尺寸很小，因而可以适应弯曲的表面。实际测试中，本发明的传感器足以适应曲率半径为80mm的球面，克服了传统的声发射传感器厚度大、不易适应弯曲表面的缺点。此外，本发明的传感器中的薄膜式铜导线可以做得很长，因此这种结构的传感器可以伸入一些狭窄逼仄的空间工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 薄膜 压电 声发 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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