[发明专利]具有非对称周期结构的III族氮化物复合衬底及其加工方法有效
| 申请号： | 202110153096.5 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN112992653B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 赵见国;杨旻荟;曹锡哲;施江熠;王孟璇;田澄睿;顾浚哲 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02 |
| 代理公司： | 南京汇盛专利商标事务所(普通合伙) 32238 | 代理人： | 张立荣 |
| 地址： | 210044 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有非对称周期结构的III族氮化物复合衬底及其加工方法，该复合衬底在特定取向的衬底上定义特定的两个方向，沿不同方向制备具有不同周期的图形，用于二次外延非、半极性III族氮化物材料。使用该复合衬底，可解决非、半极性III族氮化物在生长面内与传统常规衬底存在晶格失配各向异性的问题，从而提高非、半极性III族氮化物的外延生长质量，广泛应用于非、半极性III族氮化物光电子和电力电子器件。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 对称 周期 结构 iii 氮化物 复合 衬底 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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