[发明专利]湿度传感单元、湿度传感器及其应用有效
| 申请号： | 202110154308.1 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN112986182B | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 金崇君;王冠初;沈杨 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 向薇 |
| 地址： | 510300 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种湿度传感单元、湿度传感器及其应用。所述湿度传感单元，其包括纳米光栅以及层叠于所述纳米光栅表面的吸湿材料层；所述纳米光栅为具有表面等离子激元效应的金属纳米光栅。该湿度传感单元具备非常高的灵敏度和相对简单的制作成本，可以广泛应用到实际的湿度传感检测中。 | ||
| 搜索关键词： | 湿度 传感 单元 传感器 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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