[发明专利]一种用于晶圆片的胶膜切割设备在审
| 申请号： | 202110154521.2 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN112757620A | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 郑月英 | 申请（专利权）人： | 广州市乐薇商贸有限公司 |
| 主分类号： | B29C63/02 | 分类号： | B29C63/02;B08B1/00;B08B13/00;B26D1/10;B26D7/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510665 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶圆片的胶膜切割设备，其结构包括机体、滑块、龙门架，由于龙门在切割台顶部移动带动周围的气流流动，胶膜边沿受到气流的作用易上浮，通过限位机构中的转动环随着龙门架的移动与胶膜边沿表面接触，转动环将胶膜边沿下压捋平，减少切割台边沿的胶膜受到气流的作用上浮，减少胶膜边沿出现折皱的现象，有利于对胶膜切割的形状不发生改变，与晶圆片的表面大小吻合，能够正常用于覆盖在晶圆片表面，由于胶膜流体沾在转动环外壁，易出现胶膜受到流体的吸附力随着转动环转动的现象，通过配合块中的刮板将转动环外壁的胶膜流体清除，能够保持转动环外壁整洁。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶圆片 胶膜 切割 设备 | ||
【主权项】：
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