[发明专利]正负光电导特性可调的纳米金刚石基探测器及其制备方法

摘要

本发明提出了一种正负光电导特性可调的纳米金刚石基探测器及其制备方法，纳米金刚石基探测器包括从下到上依次设置的衬底、叉指电极层和纳米金刚石层，纳米金刚石层由粒径3‑5nm的金刚石颗粒组成，所述纳米金刚石基探测器的正负光电导特性可调，在湿度低的条件下呈正光电导现象，在湿度高的条件下，呈现负光电导现象，湿度低的条件包括真空条件下，或者加热时，温度高于73℃，湿度高的条件包括室温条件下，或者加热时，温度低于73℃。本发明的纳米金刚石基探测器实现了正负光电导特性可调，除此之外，纳米金刚石低廉的价格和优异的性能也使该纳米金刚石基光电探测器成本低廉，性能优异。