[发明专利]一种芯片级密封的电磁驱动振镜及其制备方法有效
| 申请号： | 202110158133.1 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN112946877B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 彭磊;白民宇;林淦;马力;刘青峰;刘超;周翔;杨涛;王芳 | 申请（专利权）人： | 西安知象光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新区丈八街*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种芯片级密封的电磁驱动振镜，自下而上依次由基板、背腔板、绝缘层、结构层，以及前腔板连接而成；其中基板的上下表面均为平面；背腔板为具有贯通腔的上下表面为平面的平板，背腔板下表面与基板上表面连接；绝缘层为环状薄层，其下表面与背腔板上表面贯通腔以外的区域连接；结构层下表面与绝缘层上表面连接。振镜可动部分位于真空环境，相对于非真空密封的振镜，本发明的振镜可动部分振动时不会与空气作用，从而消除了可动部件与空气作用的噪声。大幅降低空气阻尼造成的能量损失，振镜功耗显著降低，相同驱动电压下可获得更大转角；相同转角时所需驱动电压低，进一步扩大了振镜的应用领域，降低了驱动要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片级 密封 电磁 驱动 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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