[发明专利]芯片级真空密封的静电式振镜有效
| 申请号： | 202110158136.5 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN113009685B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 彭磊;白民宇;周少玮;姜军委;马力;杨彪;周翔;杨涛;王芳 | 申请（专利权）人： | 西安知象光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新区丈八街*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种芯片级真空密封的静电式振镜，由基板、背腔板、绝缘层、结构层、平坦层以及前腔板自下而上依次堆叠连接构成。振镜可动部分位于真空环境，相对于非真空密封的振镜，本发明的振镜可动部分振动时不会与空气作用，从而消除了可动部件与空气作用的噪声。可动结构材料内部振动的能量极小，且由于密封在真空中，所产生的少量振动不会传导至外部，进一步消除了噪声。振镜镜体、驱动梳齿等可动结构振动时无空气阻尼，大幅降低空气阻尼造成的能量损失，振镜功耗显著降低；振镜镜体、驱动梳齿等可动结构振动时无空气阻尼，相同驱动电压下可获得更大转角；相同转角时所需驱动电压低，进一步扩大了振镜的应用领域，降低了驱动要求。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片级 真空 密封 静电 式振镜 | ||
【主权项】：
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