[发明专利]一种调制碲化铅薄膜中自由载流子吸收的方法及装置有效
| 申请号： | 202110160016.9 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN113025977B | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 曹文田 | 申请（专利权）人： | 山东师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54;C23C14/06 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 李琳 |
| 地址： | 250014 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种调制碲化铅薄膜中自由载流子吸收的方法及装置，采用射频磁控溅射仪器，所述方案包括：设定相关溅射工艺参数；获取碲化铅薄膜的自由载流子吸收与衬底温度曲线；根据所述曲线确定化学计量比与衬底温度的映射关系；基于所述映射关系，通过调节衬底温度实现所述碲化铅薄膜中自由载流子吸收的调制；获得预设化学计量比的碲化铅薄膜；所述方案通过调节衬底温度，改变制备出的碲化铅薄膜的化学计量比，从而改变薄膜中析出铅元素的量，用于改变杂质散射自由载流子的强度，达到调制自由载流子吸收的目的，进而实现碲化铅薄膜不同化学计量比的可控调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调制 碲化铅 薄膜 自由 载流子 吸收 方法 装置 | ||
【主权项】：
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