[发明专利]一种用于CD测量机的线宽测量误差补偿方法有效
| 申请号： | 202110161950.2 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN112964179B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 汪春杨 | 申请（专利权）人： | 合肥清溢光电有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 夏舜 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及线宽测量误差补偿，具体涉及一种用于CD测量机的线宽测量误差补偿方法，控制检测点位置不变，同时不断改变光源高度，得到光源高度与待测线宽之间的关系，建立模型对光源高度与待测线宽之间的关系进行拟合，得到拟合结果，利用电荷耦合器件对待检点的对焦焦距，得到光源与待检点之间的实际高度，将光源与待检点之间的实际高度输入拟合结果中，得到待检点处补偿后的线宽测量结果；本发明提供的技术方案能够有效克服现有技术所存在的对系统的操控响应性要求较高、测量效率较低的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 cd 测量 测量误差 补偿 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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