[发明专利]一种基于Mo掺杂TaN的光催化薄膜的制备方法及其产品和应用有效

专利信息
申请号: 202110161969.7 申请日: 2021-02-05
公开(公告)号: CN112981344B 公开(公告)日: 2022-01-04
发明(设计)人: 顾明道;李兴鳌;杜明;张健 申请(专利权)人: 江苏镕耀新材料有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/06;C23C14/54;C02F1/30;C02F101/30
代理公司: 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562 代理人: 张雪
地址: 210023 江苏省南京市*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及光催化薄膜材料技术领域,具体涉及一种基于Mo掺杂TaN的光催化薄膜的制备方法及其产品和应用;具体的以氩气作为溅射气体,氮气作为反应气体,采用双靶共溅射的方法在衬底表面制备基于Mo掺杂TaN的光催化薄膜,所述双靶分别为钽靶和钼靶;本发明提供一种基于Mo掺杂TaN的光催化薄膜的制备方法。首次将TaN薄膜应用于光催化领域,通过磁控溅射真空镀膜技术,选择Mo作为掺杂剂来改善TaN薄膜光催化性能从而改善薄膜的光吸收性能和薄膜内载流子迁移特性,提高光催化性能。
搜索关键词: 一种 基于 mo 掺杂 tan 光催化 薄膜 制备 方法 及其 产品 应用
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏镕耀新材料有限公司,未经江苏镕耀新材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110161969.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code