[发明专利]陶瓷基板、静电吸盘以及静电吸盘的制造方法在审
| 申请号： | 202110162469.5 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN113248288A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 峰村知刚 | 申请（专利权）人： | 新光电气工业株式会社 |
| 主分类号： | C04B41/90 | 分类号： | C04B41/90;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 顾红霞;龙涛峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开涉及一种陶瓷基板、静电吸盘以及静电吸盘的制造方法，该陶瓷基板包括基板主体以及设置在基板主体的内部的导体层。基板主体包括：绝缘体层，其是由氧化铝构成的陶瓷；以及铝硅复合氧化物层，该复合氧化物层形成在绝缘体层和导体层之间。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 静电 吸盘 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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